ساخت و بررسی سیلیکن متخلخل به منظور استفاده در سنسورهای گازی

پایان نامه
  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تربیت مدرس
  • نویسنده مژگان چاوشی
  • استاد راهنما اعظم ایرجی زاد
  • تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
  • سال انتشار 1381
چکیده

یک حسگر قطعه ای است که به یک محرک خارجی (فیزیکی یا شیمیایی ) پاسخ داده و پیغام مناسبی را اریال می کند. پاسخ یک حسگر گاز به شکلهای مختلف بروز می کند که یکی از آنها تغییر مقاومت حسگر با ورود گاز می باشد. اکسیدهای فلزی و سیلیکان متخلخل از جمله موادی هستند که به عنوان حسگر گاز مورد استفاده قرار می گیرند. به دلیل قیمت بسیار پائین تر تراشه بس بلوری سیلیکان ، نسبت به تراشه تک بلوری آن، در این تحقیق از این پایه برای ساخت سیلیکان متخلخل استفاده گردید و سپس بر روی پارامترهای مهم در خوردگی مطالعه انجام شد. نتایج آزمایشهای ‏‎sem‎‏ ، ‏‎afm‎‏ و ‏‎stm‎‏ ساختار ، توپوگرافی و خواص الکتریکی سطح را نشان داد. علاوه براین مشخص گردید که غلظت ‏‎hf‎‏ به کار رفته در محلول برای ایجاد خوردگی و همچنین زمان خوردگی به نحو موثری در میزان خوردگی اثر می گذارند. نتایج اندازه گیری حساسیت به گازهای استن، اتانول و متانول نیز نشان داد که غلظت ‏‎hf‎‏ به کار رفته می تواند اثر چشمگیری بر حساسیت داشته باشد. آزمایشها نشان داد که با افزایش تراکم گاز، حساسیت و زمان پاسخ بهبود می یابد. همچنین اثر پوشش سطحی ‏‎ps‎‏ (شامل سطح اکسیدشده،پوشیده از هیدروژن و فاقد هیدروژن) بر حساسیت بررسی شد که بهترین حساسیت به ترتیب ، برای سطح ‏‎ps‎‏ پوشیده از هیدروژن، اکسیدشده و فاقد هیدروژن مشاهده شد و در همه موارد اثر اتانول بیشتر از متانول و استن بوده است.

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

ساخت حس گر گازی از سیلیسیم متخلخل و بررسی حساسیت آن نسبت به گاز

در این مقاله نمونه های مختلفی از سیلیسیم نوع p به روش آنودی سازی الکتروشیمیایی در محلول اسید فلوریدریک (hf) متخلخل شد. معلوم گردید که بسته به مقدار غلظت hf چگالی جریان آنودی سازی و زمان سونش میزان متخلخل برروی سیلیسیم متفاوت بود. سپس یک اتصال اهمی آلومینیوم بر روی یک طرف سیلیسیم نوع p (طرف غیرمتخلخل) و یک اتصال از طلا بر روی طرف متخلخل آن ساخته شد. این نمونه ها به عنوان یک حس گر مورد استفاده قر...

متن کامل

طراحی و ساخت سنسورهای گازی بر پایه پلیمرهای رسانای نانوساختار

نانوکامپوزیت ag/ppy کروی و نانوسیم به ترتیب به روش مغناطیسی و template سخت سنتز شدند. نسبت مونومر به اکسنده 2.4:1 و مونومر به نقره 0.0001:1 است. پلیمریزاسیون در دمای زیر 5 درجه سانتی گراد انجام گرفت. تستر گاز آزمایشگاهی طراحی و ساخته شد. مواد سنتز شده به روش های sem و eds مورد شناسایی قرار گرفت. فیلم های نازک مواد سنتز شده برروی الکترودهای شانه ای پوشش داده شد تا خواص حسگری این مواد نسبت به گا...

15 صفحه اول

طراحی و ساخت سنسورهای گازی پایه نانو مواد کربنی

پس از کشف نانولوله¬های کربنی توسط ایجیما و همکارانش بررسی¬های بسیار زیادی بر روی این ساختارها در سایر ‏علوم انجام شده است. این ساختارها به دلیل خواص منحصر به فرد مکانیکی و الکتریکی که از خود نشان داده¬اند جایگزین ‏مناسبی برای سیلیکون و ترکیبات آن در قطعات الکترونیکی خواهند شد.‏ در این تحقیق ازروش تخلیه قوس الکتریکی با جریان متناوب وبا استفاده از یک ژنراتور ولتاژ بالا، برای تولید ‏نانولوله های ...

مقایسه تأثیر وضعیت طاق باز و دمر بر وضعیت تنفسی نوزادان نارس مبتلا به سندرم دیسترس تنفسی حاد تحت درمان با پروتکل Insure

کچ ی هد پ ی ش مز ی هن ه و فد : ساسا د مردنس رد نامرد ي سفنت سرتس ي ظنت نادازون داح ي سکا لدابت م ي و نژ د ي سکا ي د هدوب نبرک تسا طسوت هک کبس اـه ي ناـمرد ي فلتخم ي هلمجزا لکتورپ INSURE ماجنا م ي دوش ا اذل . ي هعلاطم ن فدهاب اقم ي هس عضو ي ت اه ي ندب ي عضو رب رمد و زاب قاط ي سفنت ت ي هـب لاتـبم سراـن نادازون ردنس د م ي سفنت سرتس ي لکتورپ اب نامرد تحت داح INSURE ماجنا درگ ...

متن کامل

اندازه گیری ثابت هال در نیمرسانای گالیوم آرسناید آلاییده با Cr و Fe مورد استفاده در ساخت سنسورهای پیشرفته

گالیوم آرسناید ترکیبی از عنصرهای گروه‌های III-V جدول تناوبی عناصر است. گالیوم آرسناید در ساختاری بلوری مشهور به الماس گونه متبلور می‌شود. این ساختار به ساختار شبکه‌ی بلوری الماس بسیار شبیه است، اما در الماس فقط یک نوع اتم (کربن) وجود دارد در حالی که در این ماده هر موضع اتمی به تناوب توسط یکی از اتم‌های آرسنیک یا گالیوم اشغال می‌شود. از این نیمرسانای استفاده‌ی گسترده‌ای در تکنولوژی و ساخت قطعات ...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه تربیت مدرس

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023